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      英国爱德华真空泵
    Edwards_EH1200_2爱德华真空泵
         详细描述:

     EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
    机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

    爱德华真空泵EH系列被广泛应用于半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
    爱德华真空泵EH系列功能和优势
    1.适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
    2.它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
    3.EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
    4.安静的无振动运行。
    5.牢靠且防腐蚀。
    6.先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
    7.防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
    8.经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。
    9.轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
    10.动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

     

    EH1200

    EH2600

    EH4200

    排量(工作容积)

    1195 m3h-1 / 715 ft3min-1

    2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

    4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

    使用前级泵时的有效抽速

    840 m3h-1 / 495 ft3min-1

    1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

    3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

    泵的压力差

    0-90 mbar/0-68 Torr

    0-80 mbar/0-60 Torr

    0-60 mbar / 0-45 Torr

    进气口连接

    ISO160

    ISO160

    ISO250

    出口连接

    ISO100

    ISO100

    ISO100

    转速

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    连续进气口工作压力

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    最大出口压力

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    推荐的前级泵

    GV160、GV250、
    E2M80、E2M175

    GV250、GV400、
    E2M175、E2M275

    GV400、E2M275

    电机功率

         

    碳氢化合物

    3 kW/4 hp

    11 kW/15 hp

    11 kW/15 hp

    PFPE

    3 kW/4 hp

    7.5 kW/10 hp

    11 kW/15 hp

    ATEX

    3 kW

    11 kW

    11 kW

    防爆

    4 hp

    15 hp

    15 hp

    环境温度范围

         

    工作

    5 至 40°C/40 至 104°F

    5 至 40°C/40 至 104°F

    5 至 40°C/40 至 104°F

    存储

    -10 至 80°C/14 至 176°F

    -10 至 80°C/14 至 176°F

    -10 至 80°C/14 至 176°F

    最大工作湿度

    90% RH

    90% RH

    90% RH

    推荐用油

    Ultragrade 20

    Ultragrade 20

    Ultragrade 20

    油容量

         

    齿轮箱

    1.25 l/1.3 qt

    3.5 l/3.3 qt

    3.5 l/3.3 qt

    联轴器盖

    1.5 l/1.6 qt

    6.5 l/7 qt

    6.5 l/7 qt

    轴封储油器

    0.125 l/0.25 qt

    1.5 l/1.4 qt

    1.5 l/1.4 qt

    重量

    74 kg/163 lb

    308 kg/679 lb

    
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