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      英国爱德华真空泵
    爱德华罗茨泵EH系列
         详细描述:

    爱德华真空泵/EDWARDS真空泵/爱德华罗茨真空泵

    EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为0.0110 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

    机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

    应用

    ·                                半导体制程

    ·                                真空蒸馏

    ·                                真空包装

    ·                                钢脱气

    ·                                薄膜覆层

    ·                                真空冶金

    ·                                低密度风洞

    ·                                空间模拟

    ·                                真空浸渍

    ·                                油干燥和脱气

    ·                                制药冷冻干燥

    ·                                CO2激光

    功能和优势

    ·                                适用于在0.0150 mbar/0.007537.5 Torr的压力范围下、需要超过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。

    ·                                它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

    ·                                EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

    ·                                                       o   安静的无振动运行。

    ·                                                       o   牢靠且防腐蚀。

    ·                                                       o   先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

    ·                                防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

    ·                                经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。

    ·                                轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

    ·                                动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

     

    技术数据

     型号

    EH250

    EH500

    EH1200

    EH2600

    EH4200

    排量(工作容积)

    310 m3h-1/ 185 ft3min-1

    505 m3h-1/ 300 ft3min-1

    1195 m3h-1/ 715 ft3min-1

    2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1

    4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1

    使用前级泵时的有效抽速

    240 m3h-1/ 141 ft3min-1

    350 m3h-1/ 206 ft3min-1

    840 m3h-1/ 495 ft3min-1

    1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1

    3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1

    泵的压力差

    0-180 mbar/0-140 Torr

    0-110 mbar/0-83 Torr

    0-90 mbar/0-68 Torr

    0-80 mbar/0-60 Torr

    0-60 mbar / 0-45 Torr

    进气口连接

    ISO63

    ISO100

    ISO160

    ISO160

    ISO250

    出口连接

    ISO40

    ISO63

    ISO100

    ISO100

    ISO100

    转速

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    0-2900 rpm

    连续进气口工作压力

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    0-1000 mbar/0-760 Torr

    最大出口压力

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    1000 mbar/760 Torr

    推荐的前级泵

    GV80E1M/E2M40E1M/E2M80

    GV80E2M80

    GV160GV250
    E2M80
    E2M175

    GV250GV400
    E2M175
    E2M275

    GV400E2M275

    电机功率

     

     

     

     

     

    碳氢化合物

    2.2 kW / 3 hp

    2.2 kW/3 hp

    3 kW/4 hp

    11 kW/15 hp

    11 kW/15 hp

    PFPE

    1.5 kW / 2 hp

    1.5 kW/2 hp

    3 kW/4 hp

    7.5 kW/10 hp

    11 kW/15 hp

    ATEX

    2.2 kW

    2.2 kW

    3 kW

    11 kW

    11 kW

     

    
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